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高纯气体(PurifiedGases)气体工业术语，通常是指利用现代净化技术可以达到某一等级纯度的气体。纯气体(HighPurityGases)通常是指利用现代净化技术可以达到的一定等级纯度的气体。对于不同类型的气体，纯度指标不同，如氮、氢、氩、氦，通常指纯度等于或高于99.99%的高纯度气体；对于氧气，纯度为99.99%可称为高纯度氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的可视为高纯度气体。在半导体工业中，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为制备混合物的信心。根据不同的分子结构，高纯气体可分为有机高纯气体和无机高纯气体。
标准气体稳定性研究如下：影响稳定性的因素与容器的材料特性、容器内壁的预处理、气体本身的化学特性和使用条件密切相关。容器选择盛装标准气体的容器应由耐腐蚀、抗压、吸附少、不生锈、化学特性稳定、机械强度高的材料制成,通常使用的高压容器是铝合金瓶,而碳钢瓶因其内壁不光滑、吸附大而被逐步淘汰。使用标准气体钢瓶前，应进行表面清洁和油漆处理，然后将钢瓶加热至100℃左右，抽真空处理约4h。钢瓶处理完毕后,必须分析其H2O、O2等杂质含量,合格后方可使用。气体要求，准备10%的CH4/Ar四瓶，进行为期一年的稳定性调查。由于铝合金钢瓶内壁光滑，一般永 久气体时性质稳定，变化不大。钢瓶可以满足此类标准气体稳定性的要求，无需特殊处理。
